Término solicitado: KERN, WERNER^RED./(22)
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| Tipo de Docum.: | libro |
| Título: | Thin film processes |
| Autor: | Vossen, John L.. ed.; Kern, Werner. ed. |
| Idioma: | eng |
| Datos de Edición: | Orlando. US. Academic press. 1978. |
| Pág./Vol.: | 564p. |
| Descriptores: | Películas delgadas; Física del sólido; Métodos fisicoquímicos; Deposición; Magnetrones; Erosión; Pulverización; Procesos químicos; Soluciones; Calor; Compuestos inorgánicos; Vapor; Plasma; Polimerización; Procesos electroquímicos |
| Ubicación: | 539.23/V969 |
| Disponibilidad: | Préstamo |
Fin
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